人心文学>玄幻小说>唐知夏席九宸全文免费阅读完整版 > 第22章 所以拿我没办法
    如果没有周硕的干扰,🖸🗖从0.35微米工艺向0🎣💷🖡.25微米工艺过渡的光刻机,真实历史上实际使用的是🝄🈣步进重复投影曝光技术。

    在0.35微米工艺及之前,光刻👻🎇🏀机光学掩膜版的制作要求是非常🜾🇯高🙼🏱🝵的。基本上和生产的芯片,是一对一全比例设计。

    掩膜版投射的镜头需要与硅片进行完全的接触,接触中甚至要抽成真空状态。然后光源系统的激光打到掩膜版上,投♰🌁🟓影部分的光刻胶就会被蒸发掉。把这样的晶圆放到蚀刻机里面,化学🞃👛🉧药品就会将没有覆盖光刻胶的部分腐蚀掉,然后再把晶圆转移到🅬🉥离子注入机上进行离子注入……

    把镜头和晶圆直接接触,或者两者之间只有小缝隙的接近,这种光刻🙼🏱🝵机被称之为接触、接近式曝光技术。因为使用这种技术的光刻机镜头要和晶圆进行完全的接触,对掩膜版、镜头、晶圆和光刻胶都有非常高的要求。

    这种设计自有其好的一面,对镜头精度要求低,系统🎸🕴复杂度低,以及成像质量高之类的优点。但也有其致命的缺陷,0.35微米工艺基本上就是其经济性的极限了。

    0.25微米工艺光刻🖸🗖机想要延续接触式曝光,整个系统需🅏🅡要的机械精⛍🙄🇳密程度,掩膜版的成本、掩膜版和硅片的接触紧密度,系统的集成难度都开始了几何级数的增加。

    于⛴🞧🖣是在原本的历史上,尼康也好、阿斯麦也好都选择了另一条路⚢📇,那就是非接触式曝光。也就是投影式曝光技术。

    这种技术说白了,就♄是好像平常用放大镜聚集太阳光一样。用棱镜系统将光源从远处投射到硅片上。这样经过几次聚焦、折射🆙🏺、🄳🁪🈩再聚焦,最终投影到硅片上的图形比掩膜版甚至可以小上4倍。

    对于沉浸式光🞀刻技术而言。投影式曝光技术最大的好处就是——避🜾🇯免了使用防🝪🎁水光刻胶的高成本。

    其实说起来,周硕现在真的很想哈哈大笑一下,以发泄自己内心的🜾🇯畅快!

    日本人费尽心思弄到了防水光刻胶的技术,原本他们🎸🕴这个技术至少是可以吃一代光刻机没问题的。历史上,早期沉浸式光刻🜍机系统也是使用防水光刻胶的接近式光刻机,直到投影式光刻🞃👛🉧机成为主流防水光刻胶才退出了历史舞台。

    他现在拿出来的这份文件,自🁡🇙然就是投影式光刻机的技术专利,可以说这项技术一出防🊐🏛🚰水光🕄🇂🕰刻胶就是一个废物了!

    鹤田🗻♎🇏刚开始还不以为然,在他的心里早就已经认为泛翰集团是🍲砧板上的鱼肉。哪里还有什么🕄🇂🕰翻盘的机会?

    这个年代里,日本人不仅是骄傲🗱的,而且也非常有骄傲的资本。整个九十年代🝪🎁,世界十大晶圆厂,日本人占了半数还多!

    在鹤田和所有日本人看来,中国人能拿出沉浸式光刻技术纯粹就是瞎猫碰死🃣耗子,反正搞举国体制不正是共产国际的强项嘛!

    除了沉浸式光刻技术这种独辟蹊径的取巧之道,日本人绝不相信泛翰集团还能在🏌😧其他方向产生突破,他们手里的底🕤牌也就是仅此而已。

    然而事实证明。中国人比他们想象的要强大的多。这对鹤田来说,不啻⛍🙄🇳是一个巨大的嘲讽。🕄🇂🕰